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微型氣體質(zhì)量流量控制器是專門為各類小流量氣體的測量和控制而設(shè)計的。該系列 的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，結(jié)合數(shù)字信號處 理技術(shù)和流量控制算法，實現(xiàn)對各類氣體流量大小的精準(zhǔn)控制和智能化處理。